操作人員在使用半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置時(shí)，應(yīng)當(dāng)在開(kāi)機(jī)前做好一些準(zhǔn)備工作，這樣可以避免由于非正常條件下啟動(dòng)引起的半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置故障報(bào)警。

　　操作半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開(kāi)機(jī)時(shí)應(yīng)當(dāng)注意以下幾點(diǎn)：

　　1、一般壓縮機(jī)等部件的電壓范圍是不允許超過(guò)額定電壓的范圍，如果機(jī)組在運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)電壓不穩(wěn)定或是缺相等故障，嚴(yán)重的會(huì)造成壓縮機(jī)、水泵等電機(jī)部件燒毀。所以檢查半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的供電電壓值是否與設(shè)備標(biāo)示的電壓、頻率一致是非常重要的，另外還需要檢查半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置電控部分如接觸器、傳感器等部件的接線是否牢固。

　　2、檢查完電控系統(tǒng)、水循環(huán)系統(tǒng)，還需要檢查制冷系統(tǒng)，這里一般是查看半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置上的高壓壓力表和低壓壓力表，通過(guò)上面顯示的壓力值我們可以判定半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的制冷劑及系統(tǒng)是否正常，如果出現(xiàn)壓力值為零或是高低壓超出正常范圍，那就需要排查故障后再啟動(dòng)半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置。

　　3、我們檢查完半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的電路以后，還要檢查水路系統(tǒng)（可能包含冷卻水系統(tǒng)、冷凍水系統(tǒng)以及供水水源等）是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常，如水循環(huán)管路上的閥門(mén)是否已經(jīng)打開(kāi)等等。

　　4、確保半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行需要操作人員更多地了解半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的相關(guān)知識(shí)，如部件構(gòu)成及運(yùn)行原理、規(guī)范操作流程和保養(yǎng)知識(shí)等等，當(dāng)然如果能有專人來(lái)負(fù)責(zé)操作和維護(hù)那樣就更好了。

設(shè)備操作人員應(yīng)當(dāng)仔細(xì)閱讀半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的使用說(shuō)明以及半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置廠家所提供的技術(shù)培訓(xùn)內(nèi)容，按步驟操作及維護(hù)保養(yǎng)半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置，這樣才能確保半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置穩(wěn)定地運(yùn)行。